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EBARA荏原 高負(fù)荷工藝干式真空泵 半導(dǎo)體用

EBARA荏原 高負(fù)荷工藝干式真空泵 半導(dǎo)體用 EV-M505SF
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢(shì)供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片

  • 更新時(shí)間：2025-03-22
  • 產(chǎn)品型號(hào)：EV-M505SF
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問  量：155
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聯(lián)系電話：0755-22220216

產(chǎn)品詳情

EBARA荏原 高負(fù)荷工藝干式真空泵 半導(dǎo)體用   EV-M505SF

EBARA荏原 高負(fù)荷工藝干式真空泵 半導(dǎo)體用   EV-M505SF

EV-M型

適合節(jié)能和高負(fù)荷工藝的干式真空泵

高負(fù)荷工藝支持
高溫控制
節(jié)能
采用耐腐蝕材料作為標(biāo)準(zhǔn)
提高耐腐蝕性的選擇
不同頻率下性能相同（50/60Hz）
無油
符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求

產(chǎn)品介紹

荏原的高溫技術(shù)支持半導(dǎo)體、液晶顯示器和太陽能電池制造過程中產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物的高負(fù)荷工藝。

高節(jié)能性能可同時(shí)實(shí)現(xiàn)高負(fù)荷工藝和節(jié)能。

標(biāo)準(zhǔn)配置為耐腐蝕材料，并且還包括排量為110,000 L/min的大排量型號(hào)。

我們擁有適合各種工藝條件的豐富產(chǎn)品陣容，能夠處理各種高負(fù)荷工藝。


規(guī)格

模型單元EV-M20NEV-M102NEV-M202NEV-M302NEV-M502NEV-M505SFEV-M802NEV-M805SFEV-M1205SF
抽氣速度升/分鐘1,80010,00020,00030,0005萬5萬8萬8萬110,000
極限壓力帕50.50.50.50.50.50.50.50.5
連接尺寸進(jìn)氣
NW40ISO100ISO100ISO100ISO160ISO160ISO200ISO200ISO200
排氣口
NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40
極限壓力下的近似功率值千瓦1.21.81.92.32.13.92.84.65.3
冷卻水流動(dòng)升/分鐘3~83~83.5~84~85~85~85~85~85~8
溫度℃最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
氮?dú)?/td>流動(dòng)帕•立方米/秒26~3126~3126~3126~3128~3322828~3322834~35
電源相位/電壓/頻率200V 型號(hào)
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型號(hào)
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		-三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
供電容量千伏安3.35.466.87.115.78.319.414.2
近似質(zhì)量公斤170320360400500580740820870








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